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晶圓專用接觸角測量儀——專為晶圓定制的接觸角測量儀
發(fā)布時(shí)間：2023-06-06 點(diǎn)擊次數(shù)：624
隨著半導(dǎo)體工業(yè)的生產(chǎn)制造中，材料表面的潤濕性對(duì)制造質(zhì)量和產(chǎn)品性能有著極為重要的影響。因此，表面接觸角的測量和評(píng)估成為了半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的步驟。在半導(dǎo)體晶圓材料的生產(chǎn)和制造過程中，表面的潤濕性是至關(guān)重要的。例如，當(dāng)晶圓上的微電子器件需要被沉積或鍍膜時(shí)，若表面潤濕性不良，則會(huì)導(dǎo)致涂層厚度不均或成膜缺陷等問題。此外，半導(dǎo)體材料的潤濕性還與其附著性、耐熱性、耐化學(xué)性等性能密切相關(guān)。
為解決半導(dǎo)體材料表面潤濕性的問題，北斗儀器專為晶圓深度定制的一臺(tái)全自動(dòng)接觸角測量儀，廣泛用于晶圓的潤濕性能分析與研究，是一臺(tái)快速測量晶圓多點(diǎn)位潤濕性分析測量的設(shè)備。晶圓專用接觸角測量儀的樣品臺(tái)是專為測試晶圓而設(shè)計(jì)，可適應(yīng)6-12寸的晶圓，具備四向?qū)χ泄δ?/span>；矩陣型多點(diǎn)測試，測試精準(zhǔn)簡單方便。自動(dòng)定位-滴液-接液-自動(dòng)測量-自動(dòng)換位；一次測試點(diǎn)位多達(dá)50+個(gè)，可在原圖上直接顯示數(shù)據(jù)并保存；測試結(jié)果可直接保存在陣列圖上；批量方案設(shè)置功能，可保存多個(gè)測量方案，一次保存，終身無需再設(shè)定。可隨時(shí)調(diào)取。
晶圓專用接觸角測量儀是一種基于接觸角原理的測試儀器，可以測量材料表面的潤濕性和表面自由能等參數(shù)。這些參數(shù)可以用于評(píng)估材料的化學(xué)和物理性質(zhì)，以及優(yōu)化制造工藝和生產(chǎn)流程。接觸角測量儀通過將液體滴在樣品表面，然后測量滴在表面上的液滴形狀，來計(jì)算接觸角。通過測量不同液體的接觸角，可以得到材料的表面自由能、表面能、親水性和疏水性等重要參數(shù)。
除了在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用，接觸角測量儀也被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、化學(xué)工程等領(lǐng)域。通過使用接觸角測量儀，我們可以更好地理解和評(píng)估材料的性質(zhì)，以提高生產(chǎn)制造的效率和品質(zhì)。
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接觸角測量儀對(duì)超疏水材料的測量
